由于存在污染风险，真空和洁净室环境在指定轴承时存在困难。材料会释放出蒸汽，这一过程称为脱气。必须仔细选择轴承材料和润滑剂以避免此类并发症。  

     我们指定不锈钢用于真空或洁净室应用，因为用于环、球和保持器的不锈钢具有低释气性。我们通常提供开式或屏蔽不锈钢轴承作为真空轴承，因为这些轴承比丁腈橡胶密封轴承放气更少。丁腈橡胶通常用于真空应用，但如果存在对污染敏感的表面（例如光学元件），则可能会出现问题。

我们的一些轴承可提供 Viton 密封件。尽管 Viton 密封轴承通常被选择用于耐高温或耐化学性，但 Viton 也是一种碳氟化合物，因此它在真空中表现良好。

由 PEEK 制成的塑料轴承在低负载、半精密应用中也表现良好。这些轴承通常没有润滑。PEEK 具有低释气特性，因此适用于这些环境。

全陶瓷氮化硅轴承在真空中表现良好。它们也可以在没有润滑的情况下运行，从而无需真空兼容润滑剂。

在为真空或洁净室选择轴承润滑剂时必须非常小心，因为大多数润滑脂会蒸发到不可接受的水平，污染环境并阻止润滑脂正确润滑。具有非常低除气率的特殊低挥发性全氟润滑脂旨在在这些条件下表现良好。这些润滑脂经常用于半导体制造或深空设备等应用中。

对于低速，另一种选择是根本没有润滑剂或“干”润滑剂，例如 二硫化钼 或二硫化钨。我们可以对轴承内表面进行处理，以提供非常低除气的润滑膜。